2022年“科创中国”系列榜单公布 东方晶源上榜
东方晶源申报的电子束硅片图形缺陷检测与关键尺寸量测设备关键技术及应用项目荣登科创中国先导技术榜。着力打造科技创新驱动高质量发展的风向标,再次证明东方晶源在电子束检测领域具有创新性、战略性、引领性、突破性, 电子束缺陷检测设备(EBI)和关键尺寸量测设备(CD-SEM)是集成电路制造中用于良率监控的关键设备,对于提高集成电路制造企业的产品良率具有重要意义。
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2023-03-16 15:10:44
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| 1 | DoNews | https://www.donews com/news/detail/4/3398610.html | 媒体详情 |
| 2 | 凤凰网财经 | https://finance.ifengcom/c/8O0vS2xAuus | 媒体详情 |
| 3 | 腾讯网新闻 | https://new.qqcom/omn/20230309/20230309A04JGH00.html | 媒体详情 |
| 4 | 华西都市报 | http://news.huaxi100com/qiye/2023-03-13-1678696507.html | 媒体详情 |
| 5 | 凤凰网-辽宁 | https://i.ifengcom/c/8O0vS2xAuus | 媒体详情 |
| 6 | 大众网 | http://www.dzwwwcom/xinwen/jishixinwen/202303/t20230309_11523520.htm | 媒体详情 |
| 7 | 腾讯网新闻 | https://new.qqcom/rain/a/20230309A04JGH00 | 媒体详情 |
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